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中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

CEM3000超高分辨率臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。它具有出色的電子光學系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

SuperViewW國產(chǎn)白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。

NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計，結構穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合高穩(wěn)定性結構設計和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖高分辨率鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。其抗振設計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。