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國產(chǎn)臺階儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器NS200國產(chǎn)臺階儀采用接觸式表面形貌測量,對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:4110
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中圖儀器NS200國產(chǎn)臺階儀采用接觸式表面形貌測量,對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。


國產(chǎn)臺階儀



在半導體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領域,表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是一個重要的參數(shù),對各種薄膜臺階參數(shù)的精確、快速測定和控制,是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。NS200國產(chǎn)臺階儀采用亞埃級分辨率的位移傳感器、超低噪聲信號采集、超精細的運動控制、標定算法等核心技術,具有優(yōu)良的使用性能。用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量,可以進行臺階高度、膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。


產(chǎn)品功能

1、臺階高度

能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2、紋理:粗糙度和波紋度

測量2D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度等20余項粗糙度參數(shù)。

3、形狀:翹曲和形狀

可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導體或化合物半導體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產(chǎn)生的原因。還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結構高度和曲率半徑。

4、應力:薄膜應力

能夠測量在生產(chǎn)中包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件所產(chǎn)生的應力。使用應力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。

5、接觸缺陷復檢:缺陷表面形貌


技術參數(shù)

技術測量:探針式表面輪廓測量技術

樣品觀測:光學導航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機,F(xiàn)oV,1700*1400μm

平臺移動范圍X/Y:電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平)


最大樣品厚度:50mm

載物臺最大晶圓尺寸:150mm(6吋),200mm(8吋)


臺階高度重復性:<1nm(測量1μm臺階高度,1δ)

垂直分辨力:分辨力<0.25 ?(量程為13um時)


儀器尺寸: 640*626*534(mm)

儀器總重量:<50kg


典型應用



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