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CEM3000一鍵臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其操作系統(tǒng)簡便，樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列微納樣品臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。

CEM3000系列高易用性臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析，操作系統(tǒng)簡便，樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列接觸式薄膜臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。