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中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。可廣泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺XY行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍可達10mm，在測量大尺寸的樣品時，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um）。

SJ5700S表面粗糙度測量儀器能實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度的測量和分析。具有較大的測量量程（X軸200mm，Z軸0-450mm,Z0軸±20µm~±400µm），一次測量，可分析工件不同區(qū)域粗糙度，提高測量效率。

SJ5800粗糙度測試儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，是軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片等領(lǐng)域的測量利器。

W1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。