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3D粗糙度輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1606
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中圖儀器3D粗糙度輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。


可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。


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EPSI重建算法.jpg

EPSI重建算法


高速掃描的FVSI重建算法1.jpg

高速掃描的FVSI重建算法


中圖儀器3D粗糙度輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。其載物臺(tái)尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的最高精度可達(dá)0.1nm。


【測(cè)量小尺寸樣品時(shí)】可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件;


【測(cè)量大尺寸樣品時(shí)】支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um;



應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度;

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