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加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測和補(bǔ)償?？梢詫⒕€性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉測量儀與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來源；而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。

中圖儀器SJ6000機(jī)床激光干涉儀精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。