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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀白光干涉儀SuperViewW1桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀
桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2025-03-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:146
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中圖儀器SuperViewW桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀


白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。


產(chǎn)品特點(diǎn)

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲。

3、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì),有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導(dǎo)。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,調(diào)整條紋寬度,提高3D圖像的重建精度。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì),集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動(dòng)控制,并配有緊急停止按鈕。

6、真空吸附臺(tái)

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺(tái),確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像。

7、3D重建算法

自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,測量精度可達(dá)亞納米級別。


自研3D顯微測量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺(tái),集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊,能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型,可自主識(shí)別機(jī)型種類,二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn),重構(gòu)了顯微影像測量功能,可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。


自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正,多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析,可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量。


自動(dòng)拼接功能

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能,配合影像導(dǎo)航功能,可自定義測量區(qū)域,支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。


應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀

部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺(tái)

標(biāo)配:3孔手動(dòng)

選配:5孔電動(dòng)


XY位移平臺(tái)

尺寸320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
Z向掃描范圍10 ㎜
主機(jī)尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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