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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測(cè)量儀激光干涉儀SJ6000激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)
激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
更新時(shí)間:2024-10-22
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:424
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中圖儀器SJ6000激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。


線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。

激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)


功能特點(diǎn)

1、精度高

SJ6000激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2、功能廣

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉精密測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)

3、軟件強(qiáng)

(1)友好的人機(jī)界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。

4、標(biāo)準(zhǔn)多

內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn),包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。


部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時(shí)間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測(cè)量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測(cè)量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測(cè)量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測(cè)量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測(cè)量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測(cè)量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項(xiàng):

平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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