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高精度環(huán)境補償激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-08-06
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:763
詳細介紹在線留言

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率,適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng)。

高精度環(huán)境補償激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。

高精度環(huán)境補償激光干涉儀

測量軟件

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

高精度環(huán)境補償激光干涉儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

高精度環(huán)境補償激光干涉儀


SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀非接觸式、高精度的特點為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用:

1、測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度;

2、測量機床工作臺的平面度和垂直度;

3、測量機床主軸的同心度和軸向垂直度;

4、此外,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性等。


部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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