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中圖國產(chǎn)臺階儀

產(chǎn)品簡介

NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1467
詳細介紹在線留言

NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

中圖國產(chǎn)臺階儀

工作原理

當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征。一個精密的xy載物臺聯(lián)合掃描軸R和轉(zhuǎn)臺θ,在測針下移動樣品,測針中的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對應的電信號。然后將這些電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式,在其中它們可以顯示在計算機屏幕上并進行操作以確定有關(guān)基材的各種分析信息??梢晕⒄{(diào)掃描長度和掃描速度,以增加或減少分析時間和分辨率。此外,測力可調(diào)以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。

中圖國產(chǎn)臺階儀

結(jié)構(gòu)(主要組成部分)

1、測量系統(tǒng)

(1)單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

(3)傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

2、工件臺

(1)精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。

(2)超高直線度導軌,有效避免運動中的細微抖動,提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測量更加直觀。

4、軟件系統(tǒng)

測量軟件包含多個模塊。

5、減震系統(tǒng)

防止微小震動對測量結(jié)果的影響,使實驗數(shù)據(jù)更加準確。

中圖國產(chǎn)臺階儀

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量;

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


典型應用

中圖國產(chǎn)臺階儀

部分技術(shù)參數(shù)

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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