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當前位置:首頁產品中心顯微測量儀SuperViewW1白光干涉顯微測量儀
白光干涉顯微測量儀

產品簡介

SuperViewW1白光干涉顯微測量儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

產品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-13
廠商性質:生產廠家
訪問量:1128
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SuperViewW1白光干涉顯微測量儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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SuperViewW1白光干涉顯微測量儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。


技術指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復性0.1nm
粗糙度RMS重復性0.005nm
臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜


產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。



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