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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀共聚焦顯微鏡VT6100白光共聚焦顯微鏡
白光共聚焦顯微鏡

產(chǎn)品簡介

VT6000白光共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品型號:VT6100
更新時間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1103
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VT6000白光共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。


500500.jpg


共聚焦顯微鏡成像原理

共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔,其中一個放在光源前面,另一個放在探測器前面,如圖所示。


共焦顯微鏡光路示意圖.png

共焦顯微鏡光路示意圖


得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數(shù)碼相機(jī)聚焦拍攝,通過所累積的不同焦平面的圖像序列,使用軟件編譯完整的 3d 圖像。


未標(biāo)題-2.jpg



技術(shù)指標(biāo)

型號:VT6100

測量原理:共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

光源:白光LED


行程范圍:100*100*100mm

視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測量重復(fù)性(1σ):12nm

高度測量精度:± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率:0.5nm


寬度測量重復(fù)性(1σ):40nm

寬度測量精度:± 2%

寬度測量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

儀器重量:50kg


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設(shè)備具備自動拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能;

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;


應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000白光共聚焦顯微鏡可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。


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