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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x共聚焦顯微鏡VT6100高分辨率激光共聚焦顯微鏡
高分辨率激光共聚焦顯微鏡

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡以共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)為原理,主要測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

產(chǎn)品型號(hào):VT6100
更新時(shí)間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1083
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中圖儀器VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡以共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)為原理,主要測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。


共聚焦顯微鏡.jpg


VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


如在汽車(chē)檢測(cè)中的應(yīng)用,共聚焦顯微鏡結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤(pán)取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類(lèi)似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。


共聚焦顯微鏡圖像.jpg

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào):VT6100

行程范圍:100*100*100mm

視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm

高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm

高度測(cè)量分辨率:0.5nm


寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm

寬度測(cè)量精度:± 2%

寬度測(cè)量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

儀器重量:50kg


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;


共聚焦顯微鏡圖像.jpg

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

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