中圖儀器VT6000系列光學共聚焦掃描顯微鏡提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能：

粗糙度分析包括依據(jù)標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；

幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；

結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；

頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；

功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

產(chǎn)品功能

1) 設備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能；

2)一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

3)提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。