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三維光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡介

在同等系統(tǒng)放大倍率下,以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1282
詳細介紹在線留言

在同等系統(tǒng)放大倍率下,以白光干涉技術(shù)為原理的三維光學(xué)輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。


SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg


SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進行驗收,其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差)。載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度達0.1nm。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


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