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三維白光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1439
詳細介紹在線留言

SuperViewW1三維白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),使得其既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、臺階高度、表面缺陷、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉儀,白光干涉儀檢測儀器.jpg


部分參數(shù)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性:0.1nm

表面形貌重復性:0.1nm

臺階測量重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%


SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

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