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中圖白光干涉儀設(shè)備

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中圖白光干涉儀設(shè)備具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),通過(guò)一個(gè)按鍵開(kāi)關(guān),可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺(tái)掃描模式。廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1837
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中圖白光干涉儀設(shè)備具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),通過(guò)一個(gè)按鍵開(kāi)關(guān),可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺(tái)掃描模式。廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。


光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x,W1白光干涉儀.jpg


結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

  

形貌儀主要應(yīng)用領(lǐng)域:

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量;

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量;

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量;

5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。


針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求,中圖白光干涉儀設(shè)備SuperViewW1型號(hào)的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿(mǎn)足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤(pán),穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x,W1白光干涉儀.jpg



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