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當前位置:首頁產品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000系列chotest激光干涉儀
chotest激光干涉儀

產品簡介

SJ6000系列chotest激光干涉儀結合不同光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量;在動態(tài)測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產品型號:SJ6000系列
更新時間:2024-05-12
廠商性質:生產廠家
訪問量:1555
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SJ6000系列chotest激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,結合激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。除了環(huán)境適應能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。


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功能

1.結合不同光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量;

2.在動態(tài)測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。


中圖儀器研發(fā)生產的SJ6000系列chotest激光干涉儀測量分辨率可達0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″,采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。


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特點

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2.功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

可實現龍門機床雙軸同步測量;

可實現對機床回轉軸的測量與校準;

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;

支持手動或自動進行環(huán)境補償。

3.軟件強

友好的人機界面;

豐富的應用功能模塊;

向導式的操作流程;

簡潔化的記錄管理;

支持中文、英文和俄文界面;

支持企業(yè)專屬模板定制。


SJ6000激光干涉儀的測量系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

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