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3d光學(xué)表面輪廓檢測儀

產(chǎn)品簡介

要想測量物體整個區(qū)域的表面情況,只能用自動拼接測量功能,但耗時較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測儀的自動多區(qū)域測量功能,能在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量,從而對樣品進行評估分析。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1930
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要想測量物體整個區(qū)域的表面情況,只能用自動拼接測量功能,但耗時較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測儀的自動多區(qū)域測量功能,能在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量,從而對樣品進行評估分析。


測量步驟

1.點擊XY復(fù)位,使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;3.確認(rèn)電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件;4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度,找到干涉條紋;5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍;6.點擊選項圖標(biāo),確認(rèn)自動找條紋上下限無誤;7.點擊多區(qū)域測量圖標(biāo),可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區(qū)域形狀;9.根據(jù)被測物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設(shè)置;10.點擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo),儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。



中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測儀是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測儀器,其分辨率可達(dá)0.1nm。以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


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光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

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