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立式非接觸白光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1689
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SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


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優(yōu)點

1. 非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

2. 測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

3. 不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

4. 對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。


SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用。

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