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國(guó)內(nèi)白光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器國(guó)內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。測(cè)件尺寸可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1995
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中圖儀器國(guó)內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。測(cè)件尺寸可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。


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中圖儀器國(guó)內(nèi)白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度;

在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

......


白光干涉儀由于鏡頭視野較小,要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況,只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能,但耗時(shí)較多,這時(shí)候可以用自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量,從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。中圖儀器白光干涉儀支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。


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技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


深圳市中圖儀器股份有限公司是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。

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