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三維光學表面輪廓儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀分辨率可達0.1nm,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測??梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2163
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中圖儀器SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀專用于超精密加工領域,分辨率可達0.1nm,屬于3D測量領域高精度檢測儀器之一。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

 

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SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件,采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收,其中臺階高標準片高度在4.7um左右,測量精度要求為<0.75%,重復精度要求<0.1%(1σ)(測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差),主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量,主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

 

 

技術參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


 

SuperViewW系列光學3d表面輪廓儀支持自動聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。

 

 

特點

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結構,可以快速而準確的得到理想的測量結果。

 

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來,一直堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,歷經(jīng)了十多年的技術積累和發(fā)展實踐,在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

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