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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心輪廓儀光學(xué)3D輪廓儀光學(xué)表面輪廓儀
光學(xué)表面輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測(cè)量品質(zhì)。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1768
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器推出的SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測(cè)量品質(zhì)。W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動(dòng)版和1200多鏡頭自動(dòng)版兩種機(jī)型,另可針對(duì)不同的客戶需求,在兩種型號(hào)間選取不同配置進(jìn)行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心省力。


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產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1-Pro

影像系統(tǒng):1024×1024

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY位移平臺(tái):尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動(dòng)

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀,但橫向測(cè)試范圍,縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中,3D AOI(自動(dòng)光學(xué)檢測(cè))是對(duì)傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí),彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對(duì)質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開(kāi)光學(xué)光學(xué)表面輪廓儀格實(shí)惠不說(shuō),基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1系列能以非接觸的方式,無(wú)損檢測(cè)精密機(jī)械加工表面,檢測(cè)結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示,直觀地展示了表面紋理特征。





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