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SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀測(cè)量設(shè)備測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好，配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度；應(yīng)用范圍廣，可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)，結(jié)合軟件系統(tǒng)，也可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析，實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光光學(xué)干涉儀配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度。儀器可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)；結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析；可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。

GTS激光測(cè)量跟蹤儀將干涉測(cè)長(zhǎng)的及時(shí)修正速度與絕對(duì)測(cè)距功能相結(jié)合，保證測(cè)量精度，并實(shí)現(xiàn)擋光恢復(fù)。在斷光時(shí)會(huì)在小范圍內(nèi)自動(dòng)搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動(dòng)鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測(cè)量效率。在大尺度空間測(cè)量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高精度和重要性，是同時(shí)具有μm級(jí)別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

GTS國(guó)產(chǎn)激光跟蹤儀檢測(cè)儀集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體，在大尺度空間測(cè)量工業(yè)科學(xué)儀器中具有重要性，是同時(shí)具有μm級(jí)別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測(cè)分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償具有重要性，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時(shí)需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測(cè)量以及動(dòng)態(tài)性能的測(cè)試、分析。