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SJ6000高精度超精密激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測量儀器。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn).

中圖儀器GTS機(jī)器人標(biāo)定激光跟蹤儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體，是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機(jī)，是同時(shí)具高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的高性能光電測量儀器。

SJ6000激光干涉儀機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償系統(tǒng)以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、高測速下分辨率高等特點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

中圖儀器GTS系列國產(chǎn)6D激光跟蹤儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體，主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量：可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應(yīng)用。

SJ6000激光干涉儀中圖儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件的配合下，激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。

中圖儀器GTS激光測量儀器跟蹤儀是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機(jī)，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。