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白光干涉儀3D形貌測(cè)量之美

更新時(shí)間:2022-12-28點(diǎn)擊次數(shù):2057

白光干涉儀能測(cè)什么?有著“納米眼"之稱的白光干涉儀,是一款在縱向分辨率上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的分辨率和測(cè)量可靠性的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。下面就讓我們一起來領(lǐng)略下國(guó)產(chǎn)白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。


圖片1.jpg

SuperViewW1白光干涉儀


白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓測(cè)量法可以非接觸式測(cè)量非平坦樣品,輕松測(cè)量出彎曲和其他非平面表面,還可以測(cè)出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等,同時(shí)不會(huì)像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。


白光干涉儀3D形貌圖片:

圖1.超光滑_納米級(jí)表面

圖2.分成了32階的納米級(jí)微納光學(xué)元件

圖3.半導(dǎo)體芯片表面外觀

圖4.微納凹凸圓表面

圖5.拼接_摩擦磨損工藝零部件

圖6.拼接_大區(qū)域超光滑凹球面

圖7.光學(xué)衍射元器件


除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。非接觸高精密光學(xué)測(cè)量方式,不會(huì)劃傷甚至破壞工件,不僅能進(jìn)行更高精度測(cè)量,在整個(gè)測(cè)量過程還不會(huì)觸碰到表面影響光潔度,能保留完整的晶圓片表面形貌。測(cè)量工序效率高,直接在屏幕上了解當(dāng)前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數(shù)據(jù)。


圖片10.jpg

硅晶圓粗糙度測(cè)量

圖片11.jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)


白光干涉儀所具有技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。


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